НАПІВПРОВІДНИКОВІ ГАЗОЧУТЛИВІ СЕНСОРИ НА ОСНОВІ НАНОМАТЕРІАЛІВ

Анотація

У статті розглянуто основні види та принцип дії напівпровідникових газочутливих сенсорів попередніх робіт. Описано будову найпростішого напівпровідникового датчику. Проведено огляд деяких наукових робіт, в яких розкрито перспективи та особливості виготовлення напівпровідникових газових сенсорів на основі графену, вуглецевих нанотрубок, поруватих напівпровідників, а також поєднання даних матеріалів з газочутливими металооксидними напівпровідниками. Дані наноматеріали, завдяки своїм механічним та електричним параметрам, великому співвідношенню поверхні до об’єму, є досить перспективними для виготовлення високочутливих газових сенсорів. Розглянуто переваги та недоліки деяких з них.