THERMAL WAVE MICROSCOPY – A UNIQUE TOOL FOR NONDESTROYING LEVEL-BY-LEVEL DIAGNOSTICS OF SEMICONDUCTOR STRUCTURES

Олег Володимирович Волчанський

Анотація


Пропонується спрощена теорія генерації фототермоакустичного сигналу, а також аналіз його залежності від оптичних, теплових і геометричних властивостей зразка. Обговорюються експериментальне обладнання та результати ФТА мікроскопії напівпровідникових структур. Аналізується унікальна можливість термохвильової мікроскопії проводити неруйнівну пошарову діагностику пристроїв напівпровідникової мікроелектроніки.

The paper presents a simplified theory of photothermоacoustic (PТA) signal generation and its dependence on the sample's optical, thermal and mechanical properties, geometric structure, etc. Both an experimental technique for the investigation and results of PТA microscopy of semiconductor structures in a university laboratory are discussed. The unique ability of thermal wave microscopy for non-destroying levelby-level diagnostic of semiconductor microelectronic devices is analysed


Повний текст:

PDF

Посилання


Програми для фізико-математичних факультетів педінститутів. Зб.№ 2. За заг ред. М.І.Шкіля та Г.П.Грищенка. – К.: РОВО “Укрвузполіграф”, 1992 – 144 с.

Лабораторный практикум по общей физике (под ред. Е.М.Гершензона, Н.Н.Малова. – М.: Просвещение, 1985. – 351 с.

G.Busse. Imaging with Optically Generated thermal Waves / G. Busse // IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics. – 1985. – Vol.SU-32, №2. – P.355–364.

Siu E.K. A. Thermal-wave microscopy of semiconductor devices / E.K.M. Siu, M. A. Rosencwaig // IEEE Ultrasonic Symp. Proa. – 1981. – Vol.2, p. 828–831.

Жаров В.П. Лазерная оптико-акустическая спектроскопия / В. П. Жаров, В. С. Летохов. – М. : Наука, 1975. – 320 с

Сверхчувствительная лазерная спектроскопия [под ред. Д. Клайджера]. – М. : Мир, 1986. – 519 с.


Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.